探針傳感器

低慣量傳感器（LIS 3）

探針壓力

1到15 mg，使用LIS 3傳感器

低作用力

N-Lite+ 精微力傳感器，0.03到15 mg（可選）

探針選項(xiàng)

探針半徑選項(xiàng)從50 nm到25 μm；

高徑比（HAR）針尖200 μm x 20 μm；

可根據(jù)客戶要求提供定制針尖

樣品臺(tái) XY載物臺(tái)

手動(dòng)100 mm（4"），手動(dòng)調(diào)平；

電動(dòng)150 mm（6"），手動(dòng)調(diào)平；

帶編碼器電動(dòng)200 mm（8"），手動(dòng)調(diào)平

樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)

手動(dòng)或自動(dòng)，連續(xù)360°

減震裝置

減震裝置可用（選配）

掃描長(zhǎng)度范圍

55 mm（2"）；200 mm（8"）具備掃描拼接能力

每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)

可達(dá)120,000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)

樣品厚度可達(dá)

50 mm (1.95")

晶圓尺寸可達(dá)

200 mm (8")

臺(tái)階高度重復(fù)性

4 Å, 1 sigma （ ≤1 μm 標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階樣品)

垂直范圍

1 mm (0.039")

垂直分辨率

1 Å (@ 6.55 μm 范圍)

輸入電壓

100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz

溫度范圍

工作范圍20到 25°C (68 到 77oF)

濕度范圍

≤80%, 無(wú)冷凝

系統(tǒng)尺寸與重量

尺寸：455 mm W x 550 mm D x 370 mm H（17.9" W x 22.6" D x 14.5" H）；

重量：34 kg（75 lb）；

外殼尺寸：550 mm L x 585 mm W x 445 mm H（21.6" L

x 23" W x 17.5" H）；

外殼重量：5.0 kg（11 lb）